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平面光波导技术Planar Lightwave Circuit, PLC是一种基于平面波导结构的光学器件制造技术。它通过在平面基底上制作光波导实现光信号的传输、分路、耦合、调制等功能。PLC技术的核心在于利用光波导的低损耗和高集成度特性将多个光学功能集成到单一芯片上。
随着AI大火算力需求越来越大小体积多功能集成的光学器件是必然的趋势。其中平面光波导封装又是光子集成技术(Photonic Integrated Circuit, PIC)的重要组成之一。在激光器、耦合器、调制器、波分复用器等各种光路器件均有大量应用。实现了光的发射、传输、复用、调制等各种功能。
PLC技术的特点
1.材料多样性
PLC技术可以使用多种材料包括
二氧化硅SiO₂低损耗、高稳定性常用于分路器和阵列波导光栅AWG。我们常用到的光纤严格来说也是一种小型圆柱光波导。
铌酸锂LiNbO₃铌酸锂有大的透明窗口、低传输损耗、良好的电光/压电/非线性等物理性能以及优良的机械稳定性等在实现波导传输损耗和片上电光调制功耗这两个指标方面有其特有的优势。适用于高速调制器和光开关。
III-V族半导体如InP、GaAs适合有源器件如激光器、探测器的集成。
绝缘体上的硅SOI/SIMOX适合高密度集成和CMOS工艺兼容。
氮氧化硅SiON折射率可调适合多功能集成。
高分子聚合物Polymer聚合物材料可通过分子工程进行加工和剪裁使其满足制备高性能光电子集成器件的要求且材料种类繁多、加工工艺简单、价格低廉。
2.高集成度
PLC技术可以将多个光学功能集成到单一芯片上实现器件的小型化和高性能化。通过自定义设计波导形状、尺寸实现多个功能如光从芯片到光纤的耦合、光功率分配、光波长分配、调制信号码型、光斑光场控制等。 不同波导结构实现不同器件功能结构示意图图片来源网络
3.低损耗
通过优化波导设计和材料选择PLC器件可以实现极低的光信号传输损耗。如边缘耦合端面耦合的模斑转换器在1550nm可实现零点几db的耦合损耗。 波导与光纤耦合图片来源网络
4.可扩展性
PLC器件可以与其他有源器件如激光器、探测器或无源器件如滤波器、耦合器组合形成复杂的光学系统。
基于PLC技术的典型器件或应用
1.分路器Splitter
用于将输入光信号分配到多个输出端口或把多个通道光合并到一路。常见的有1×N或2×N分路器。材料为二氧化硅SiO₂。 平面波导光分路器PLCS图片来源网络
2.可调光衰减器Variable Optical Attenuator, VOA
用于动态调节光信号的强度。多使用铌酸锂LiNbO₃或硅基材料利用材料的一些特性改变光在其中传输的折射率、偏振、或相干情况实现传输功率变化。
3.光开关Optical Switch
用于切换光信号的传输路径。材料多使用铌酸锂LiNbO₃或III-V族半导体。
4.光梳Interleaver
用于将多个波长信道分离或合并。目前比较主流的方式是使用微环结构微环的直径圈数以及环形波导与直波导的耦合程度均会影响最终频率的峰值大小滤波间距等。 光频率梳效果图图片来源网络
我司OCI设备对某微环波导结构测试效果如下 a微环的频率透射谱
b用OFDR方法测量的频率响应
cOFDR测得的距离反射曲线拟合
5.阵列波导光栅Array Waveguide Grating, AWG
用于波长分复用和解复用。通常使用二氧化硅SiO₂或硅基材料利用罗兰圆原理在波导上刻蚀圆形结构使不同波长的光进入不同的通道实现波分复用。 AWG结构示意图图片来源网络
6.光调制器
典型的调制器结构为MZI结构这种结构简单直波导工艺简单容易控制。通过波导材料的电光、热光、磁光、偏振等效应利用两条臂的干涉效果实现想要的输出波形进而实现编码。 MZI干涉调制结构图片来源网络
7.生物传感
PLC技术可以用于制作高灵敏度的光学传感器用于检测生物分子、细胞或环境参数。例如基于PLC的微流控芯片可以用于实时监测生物反应。
8.量子技术
PLC器件在量子通信和量子计算中也有潜在应用例如用于量子光源和量子探测器的集成。因芯片尺寸极小且器件结构多常见的时域检测技术不能用在芯片级波导结构上分辨率不够我司的OFDR设备OCI对某量子芯片的检测结果如下 可清晰展示不同距离下的反射强度非常适合对量子通信芯片的波导结构分析。 PLC技术的发展趋势
1.异质集成
将不同材料如硅、III-V族化合物、铌酸锂等集成在同一芯片上实现更复杂的功能。
2.智能化与可重构性
结合人工智能技术实现PLC器件的智能化控制和动态重构。
3.低成本与大规模制造
通过标准化工艺和材料优化降低PLC器件的制造成本推动其在大规模市场中的应用。 总结
平面光波导技术PLC是光通信重要封装技术。它通过多样化的材料选择和高度集成的设计实现了光信号的高效传输和处理。随着技术的不断进步波导的应用市场将会越来越广。昊衡科技研发的白光相干检测仪OLI与光频域反射检测仪OCI可实现百微米级别的距离精度及低于-100db的信号探测灵敏度极大丰富了客户不同应用场景的检测需求助力客户产线批量出货检测以及返回品失效检测。
昊衡科技
一家集研发、生产、销售于一体的高科技公司专业从事工业级自校准光学测量与传感技术开发也是国内首家实现OFDR技术商用化的公司。目前昊衡科技已推出多款高精度高分辨率产品水平比肩国际同类型产品主要应用于光学链路诊断、光学多参数测量、高精度分布式光纤温度和应变传感测试。已与全球多个国家和地区企业建立良好的合作关系并取得诸多成果。
